UL1000Fab氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導體環(huán)境中經(jīng)濟型氦氣真空泄漏檢測的標準。

通過儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測部件或設(shè)備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟性之間提供了的性價比。它提供的10-12mbar·l/s檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應(yīng)時間的特點。緊湊的設(shè)計提供了高度的機動性，方便進入空間有限的維修區(qū)域?？蛇x的背景本底抑制（iZERO）功能能夠在2秒內(nèi)實現(xiàn)低于現(xiàn)有背景本底水平狀態(tài)持續(xù)進行泄漏測試。

┃ 典型應(yīng)用

• 對清潔度要求嚴苛的工業(yè)真空設(shè)備制造

• 在將真空組件或子組件安裝到現(xiàn)有工具中之前

• 真空工具的維護工作，無論是否有泵的支持

• 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝

• 半導體、平板顯示器或太陽能電池制造

┃ 設(shè)備特點

• 通過縮短抽氣時間和響應(yīng)時間加快泄漏檢測工作

• 通過使用可選的背景抑制（izero），避免需要進行多次泄漏測試

• 通過緊湊的設(shè)計方便進入空間有限的維護區(qū)域

• 通過耐用的兩個熱絲離子源（三年保修）和逆流式真空系統(tǒng)實現(xiàn)低擁有成本(TCO)

• 通過可旋轉(zhuǎn)顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠程控制降低應(yīng)用難度

• 通過內(nèi)置泄漏測試和自動校準程序?qū)崿F(xiàn)低成本維護