離子濺射儀通過高能離子轟擊靶材表面，實現(xiàn)原子級薄膜沉積。靶材的選擇直接決定涂層的物理化學(xué)性能，需綜合考慮材料特性、工藝參數(shù)及應(yīng)用需求。
靶材類型與性能匹配
金屬靶材(如Au、Al、Cr)：適用于導(dǎo)電性要求高的場景，如電子封裝和光學(xué)反射膜。
合金靶材(如NiCr、TiAl)：通過成分調(diào)控可優(yōu)化涂層硬度(如TiAlN涂層硬度>25 GPa)或抗氧化性。
陶瓷靶材(如SiO?、ZrO?)：用于絕緣層或耐磨涂層，但需注意其脆性可能導(dǎo)致濺射效率下降。
靶材參數(shù)對涂層質(zhì)量的影響
純度要求：高純度靶材(≥99.99%)可減少雜質(zhì)引入，如半導(dǎo)體領(lǐng)域要求金靶含金量>99.999%。
微觀結(jié)構(gòu)：柱狀晶結(jié)構(gòu)靶材易導(dǎo)致涂層應(yīng)力集中，而細(xì)晶粒靶材(晶粒尺寸<1μm)可提升附著力。
濺射率：不同材料的濺射率差異顯著(如Al>Cu>Ti)，需通過功率調(diào)節(jié)平衡沉積速率。
典型應(yīng)用場景
生物傳感器：選用高純度金靶(Au≥99.999%)，確保涂層導(dǎo)電性與生物相容性。
光學(xué)器件：采用SiO?靶材制備抗反射膜，通過調(diào)節(jié)濺射氣壓(0.5-1 Pa)優(yōu)化折射率。
耐磨涂層：TiN靶材配合脈沖偏壓濺射，可在工具表面形成致密納米晶涂層。
靶材選擇策略
成本控制：優(yōu)先選擇性價比高的替代材料(如用Al替代Ag用于臨時導(dǎo)電層)。
工藝兼容性：高溫濺射時需選擇耐熱靶材(如Mo、W)，避免靶材軟化變形。
環(huán)保考量：逐步淘汰含鉛、鎘等有害元素的靶材，符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)。
更新時間：2025-12-13
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電鏡樣品制備